特点
质量流量控制器采用闭环模糊控制技术，响应速度快，流量控制准确；
稀释气压力和标气压力实时监测，保证供气压力满足仪器要求；
大屏幕液晶显示，菜单式结构，操作简单方便；
多路标气输入接口，免除更换多种钢瓶气的繁琐。
规格：
流量重复性： 0.2%F.S；
流量线性度： 0.5%F.S；
稀释气体流量范围：0～5SLM(0～10SLM,0～20SLM可选）；
钢瓶气体流量范围：0～50SCCM（0～10SCCM，0～100SCCM可选）；
稀释比：30：1～2000：1；
响应时间：20s；
输入压力：150kPa～250kPa；
外形尺寸（W;H;L）：482mm;178mm;450mm；
重量：11kg
